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蚀刻洗铝防伪
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蚀刻洗铝防伪

5297com新浦京京蚀刻洗铝防伪技术可减少蚀刻腔体内含铝颗粒物的含量,使得干蚀刻制程中颗粒物掉落于待蚀刻膜层上的概率减少,解决了线路蚀刻残留和短路的问题,提高产品良率。

蚀刻洗铝防伪步骤1:5297com新浦京京提供一铝膜基板,所述铝膜基板包括衬底基板及设于所述衬底基板上的铝膜,在所述铝膜上涂布光阻层,采用光罩对光阻层进行曝光显影后形成光阻层图形;

蚀刻洗铝防伪步骤2:5297com新浦京京提供一干蚀刻设备,所述干蚀刻设备具有蚀刻腔体,将带有光阻层图形的铝膜基板放入所述蚀刻腔体中,向所述蚀刻腔体内通入含氯气体,对铝膜基板进行蚀刻,所述含氯气体对铝膜上未被光阻层图形覆盖的部分进行蚀刻,得到设计图案,在蚀刻过程中,控制所述蚀刻腔体内的温度与压力,使含氯气体与铝膜反应生成的氯化铝保持气体状态,减少氯化铝颗粒的生成;

蚀刻洗铝防伪步骤3:采用抽气设备抽出所述蚀刻腔体内的大部分气体,通入含氟气体,通电解离后,含氟气体的等离子体与蚀刻腔体内残留的氯化铝发生反应,含氟气体中的氟元素与氯化铝中的氯元素进行置换,生成氟化铝。


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